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永鼎股份请求晶圆匀胶检测设备专利能在某些特定的程度上改动晶圆上涂胶离心不均的状况

来源:开云棋牌官网    发布时间:2024-01-15 19:33:32

  (原标题:永鼎股份请求晶圆匀胶检测设备专利,能在某些特定的程度上改动晶圆上涂胶离心不均的状况)

  金融界2023年12月22日音讯,据国家知识产权局公告,江苏永鼎股份有限公司请求一项名为“一种晶圆匀胶检测设备“,公开号CN117259138A,请求日期为2023年8月。

  专利摘要显现,本发明归于晶圆检测技术领域,具体的说是一种晶圆匀胶检测设备,包含涂胶圆仓,所述涂胶圆仓的底面中心处开设有榜首贯穿孔,所述涂胶圆仓的内部榜首贯穿孔的外围开设有圆环轨迹,所述榜首贯穿孔的内壁中心处开设有榜首圆环槽,所述榜首贯穿孔的内壁贯有传动管,所述传动管的外壁固接有榜首定位环,所述榜首定位环的外壁与榜首圆环槽的内壁彼此卡合,所述传动管的一端固接有万向联轴器。本发明传动管为涂胶圆板供给旋转作用力的一起,能经过对涂胶圆板与传动管之间相对夹角调理在某些特定的程度上改动晶圆上涂胶离心不均的状况,从而避免晶圆上涂胶涂覆结束后因为涂胶质量不合格导致的晶圆的出产功率下降的状况产生。

  证券之星估值剖析提示永鼎股份盈余才能比较差,未来营收成长性较差。归纳基本面各维度看,股价偏高。更多

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