笔直平升行程可达50mm，全体尺度结构严密相连，速度可达20mm/s，负载60kg

  高精度穿插滚柱导轨，无槽无刷力矩电机，低线胀系数光栅有助完成纳米级微动步距高可靠性驱动组织，运用寿命长

  RBZ-SG系列是一款长行程的精细平升Z轴，具有纳米级微动步距，高动态功能，结构严密相连，用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测验丈量、生物工程等高精度职业。

  直驱结构，承载才能大，在一个长行程的移动规模，坚持尽可能低的高度，优化阿贝差错影响，有助于提高全体精度功能。抗蠕变穿插滚柱导轨笔直导向，为提高直线度、Pitch Roll Yaw目标供给立异解决方案。

  力矩电机作为直驱办法，没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中心传动环节，RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动，相对侧升结构Z轴，无需转接板，负载重心安置在Z轴中心，有利于运转进程减小俯仰和偏摆的影响。

  RBZ-SG平升Z轴为双闭环反应，直线光栅和圆光栅相结合的双反应办法，直接丈量工件移动时的差错，提高了精度功能。

  以上为单轴精度目标，在洁净间内测验，温度20℃1℃，湿度40%~60%RH，振荡等级VC-E，测验点在负载板上25mm处，测验速度5mm/s，Renishaw激光干涉仪丈量及自带剖析办法，多轴体系的精度测验与负载尺度及测验点高度有关，环境的改变会导致精度改变，如要求非标准测验，请咨询咱们。

  主营产品：单轴气浮运动台，气浮转台，多轴气浮运动台，单轴线轨运动台，AB轴机械转台，多轴线轨运动台，精细Z轴，笛卡尔龙门体系，定制体系及超真空运动台。